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Generator Repair

우주이엔지의 제너레이터 수리 사업 부문을 소개합니다.

제너레이터 수리

Repair Process

장비검수 절차

No.내용목적M사우주
비고
1

Hi-pote test

전기 Leak check

OO
DVM사용
2

Water Leak check

Water leak

O
O

3

MFC flow rate check

실제 gas flow rate check

O
O

4

MFC 값 display check

MFC display range check

O
O

5

Alarm test

Safety Interlok Check

O
O

6

오존 농도 double check

Generator 내부 농도계 Check

O
O

7

Software 이용 operation test

RS-232 사용 대비 software check

O
O
자체 개발
8

Line voltage test

Low & High line voltage check

O
O
AVR사용

농도 Double Check (API 450사용)

  • O3 Generator 내부에 장착되어진 API452 농도 모니터의
    신뢰성 확인 TEST


  • 수리 후 Generator 내부와 test rack의 농도값을 비교,
    해당 농도계는 6개월에 한번씩 Full calibration을 시행하여 관리

Line Voltage Check

  • 오존 Generator는 하이닉스 UT에서 3상 208VAC를 받아 사용


  • AVR(Automatic Voltage Regulator), 3상 208VAC를 이용해 Gnerator test 진행

수선 후 운전 차이점

No.내용M사우주
비고
1

Burn-in Test

1시간 시행 중2시간 시행 중

100% Power

2

오존 농도 double check

시행 중

시행 중

내부 농도계의 신뢰성 확보를 위함

3

Power monitoring

시행 중
시행 중

O3 Recipe의 적정 파워유지 확인

4

수선 범위

Board류, MFC

Cells, Board류, MFC

국산화 검증된 Cell 사용

5

Double check용 센서

M450H

M450H

6개월마다 Full Calibration 시행

6

수선 기간

MKS K : 15일

MKS U : 60일

7일


7

수선 비용

100%

55%

45% 수리 비용 절감

수선 방식 차이점

Cell Stack 교체

각종 보드류
MFC 및  파트류

특징

M사

우주

  • 원 메이커 보드를 전문 수선하여 사용
  • Board 수선 시 M사의 Board 수선 절차와
    동일하게 진행
  • 현재 각종 보드를 정상 운전 Spare로
  • 15개씩 보유
  • M사의 MFC 전문 수리 업체를 통해
    신뢰성 있는 수선 진행 (HCT납품 업체)
  • 각종 파트류 Spare 다량 보유
국내 수리불가능가능
부대 비용발생없음
수선기간오래 걸림짧음
분류AX8407 / AX8560M사우주
소모성 부품

Ozone cell

X교체O
교체

Gas filter

O

교체
O
교체
Non-소모성 부품

Board류

O
교체
O
수선 가능

MFC

O

수선 가능
O
수선 가능

Regulator

O

교체
O
교체

Gauge

O

교체

O

교체

Temp Sensor

O

교체

O

교체
분류O3M사우주
소모성 부품

UV Lamp

O
교체O
교체

O-ring류

X

불가O교체

센서 body

X
불가
O
교체
Non-소모성 부품

Board류

O
불가
O
수선 가능

Life Time

O3
Gas Filter : 24개월, UV Lamp : 18~24개월

API M452

O3
O3우주의 경우 Fail 파트 교체 및 수선 후 신뢰성 및 안정성 검증 진행함